VDL ETG (EUV asml)
Eindhoven/Acht, Netherlands
Specificaties
Bedrijf: VDL ETGLocatie: Eindhoven/Acht, Netherlands
Classificatie: ISO 7
Temperatuur: 20°C +/- 1
Verlichting: 800 lux
Luchtinblaas: airsock
Relatieve vochtigheid: 55% +/- 5%
Vloerafwerking: ESD gietvloer
Sector: Semicon EUV ASML
VDL ETG (euv asml) maakt in Eindhoven/Acht bij ETG gebruik van hoogwaardige demontabele metalen cleanrooms met holle wanden en plafonds. VDL ETG gebruikt cleanrooms in de klasse ISO 6 op een antistatische ESD-vloer. Het reinigen van de gebruikte EUV-units gebeurt hier onder andere ultrasoon. ASML EUV is hier de unieke afnemer. Er is qua cleanroom gekozen voor de unieke flexibele oplossing van Highcare, de volledige cleanroom is te verhuizen (mobiel)
UNIEK BOUW- EN VENTILATIESYSTEEM
De VDL Groep koos bij ETG voor een state-of-the-art cleanroomtechniek. De stofarme ruimtes zijn compact geïntegreerd in bestaande fabrieksruimte. De cleanroom is een stand-alone unit die in de productiehal onder een losse verdiepingsvloer is geplaatst. In de cleanroom wordt direct onder het plafond gefilterde lucht ingeblazen en op plintniveau weer afgezogen. Een unieke spoeling met gefilterde lucht van de volledige ruimte.
COMPACT
De VDL Groep koos voor de unieke techniek van HIGHCARE met holle metalen wanden en plafonds. Al meer dan twintig jaar bouwt HIGHCARE cleanrooms met een ingenieus ventilatiesysteem in de wanden. Daarbij is het bedrijf gespecialiseerd in een nieuwe bouwtechniek volgens het in eigen huis ontwikkelde IFD-systeem. Deze Industrieel samengestelde segmenten zijn flexibel indeelbaar en demontabel, ook jaren na de oplevering. Een compleet remontabel systeem. In de wanden en boven de plafonds bevinden zich de aanvoerleidingen van de utilities, kant en klare prefab units voor ondermeer XCDA, UPW, CDA, en perslucht.
FLEXIBEL
Flexibiliteit is voor de VDL Groep van groot belang. Zo heeft men na enkele weken de lichtvoorziening aangepast. Met het IFD-systeem is het makkelijk uit te voeren, zonder breken, zagen of schuren en in slechts enkele minuten.
DEMONTABEL
Ook de locatie van ramen, deuren of verlichting zijn met dit systeem eenvoudig te verschuiven. Maximale flexibiliteit.
<Ultrasoon reinigen in cleanrooms>
<VDL ETG>